數顯真空烘箱各種構造復雜的機械部件或其他多孔樣品經過清洗后使用真空干燥法，合理干燥后不留參與物質；在真空或惰性條件下，消除氧化物遇熱爆炸的可能；與依靠空氣循環的普通干燥相比，粉末狀樣品不會被流動空氣吹動或移動。